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高纯石墨在半导体中的应用

来源:青岛华泰石墨时间:2019-05-15 08:57打印打印 字号:T|T
青岛华泰石墨所有产品均以天然鳞片石墨为原料,主要生产高纯高碳石墨,生产制作中严把质量关,服务周到热情,产品受到新老客户一致好评!
      高纯石墨性能多,应用范围广,在很多工业,纺织航天等领域得到了充分应用。半导体生产是现今高纯石墨的大用户。单晶硅、高纯锗和集成电路等半导体生产时,为防止金属杂质污染半导体金属,在生产中多采用高纯石墨作大小不同的石墨烧结模、石墨坩埚、石墨发热元件等。
      半导体材料生产用高纯石墨的粒度组成不一样,有挤压成型,冷压成型和等静压成型三种方法。
      挤压成型的高纯石墨粒度比常规石墨电极的粒度要细一些,但是比超细结构的石墨要粗。这种石墨在高纯石墨中价格是最低的,可以用来做比较大的石墨件,比如石墨坩埚,石墨加热元件等。
      冷压成型结构高纯石墨是结构石墨在石墨化时进行化学工艺纯化制得,价格比细结构石墨要贵。对于一些加工精度要求比较高的石墨件,比如集成电路烧结模,就要用到细结构高纯石墨,加工棱、角、沟、槽都可以加工出来。
      等静压高纯石墨产品用特殊等静压工艺成型,质量均匀,都是一样的好,是这三种高纯石墨中价格最贵的。
      青岛华泰石墨所有产品均以天然鳞片石墨为原料,主要生产高纯高碳石墨,生产制作中严把质量关,服务周到热情,产品受到新老客户一致好评!
      高纯石墨在半导体中的应用是青岛华泰石墨原创,未经允许,不得转载。
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